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元器件表面異物EDS元素分析
發布時間：2022-06-21 點擊次數：2014
EDS能譜儀,是一種分析物質元素的儀器,常與掃描電鏡或者透射電鏡聯用,在真空室下用電子束轟擊樣品表面,激發物質發射出特征x射線,根據特征x射線的波長,定性與半定量分析元素周期表中B-U的元素,EDS可提供樣品表面之微區定性或半定量之成份元素分析,以及特定區域之point、line scan、mapping分析。
下為某客戶元器件樣品表面異物的能譜分析圖譜：
