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什么是像差？掃描電鏡像差簡介

掃描電鏡是一種高級顯微鏡，可以用來觀察非常小的樣品。然而，掃描電鏡在成像過程中也存在一些像差，影響著成像的質量。了解掃描電鏡的像差有助于我們更好地理解掃描電鏡成像的原理，從而更好地利用掃描電鏡進行科學研究。

圖1-有像差的圖例

1.球差

球差是掃描電鏡成像中最常見的一種像差。當電子束穿過樣品時，球差會導致成像區域的焦距不同，從而使成像變得模糊。為了減少球差的影響，掃描電鏡通常會使用球差校正器。

2.色差

色差是掃描電鏡成像中另一種常見的像差。由于電子束的能量分布不均勻，會導致不同顏色的電子束在樣品上產生不同的散射。這種現象會使成像的顏色出現偏差，需要通過色差校正器進行校正。

3.像散

像散是指電子束在穿過樣品后出現偏轉的現象。像散會導致成像區域出現模糊和扭曲的情況。為了減少像散的影響，掃描電鏡通常會使用像散校正器。

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